簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Analysis".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="銅膜晶圓拋光"


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    化學機械拋光製程能量分析應用於拋光墊研究
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 余懿展 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究目的主要在進行後段導線製程 (Back End of Line, BEOL)中,銅導線的化學機械拋光之化學能與機械能佔比分析。由銅膜晶圓、鉭膜晶圓之化學機械拋光製程實驗,藉由集合式電錶即時觀測…
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    • 全文公開日期 2024/08/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/27 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/27 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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